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晶圓視覺檢測是半導體制造過程中的關鍵環節,它能夠確保晶圓的良品率和生產效率。目前,機器視覺算法結合晶圓缺陷檢測方法因其普適性強、速度快而廣泛應用于工業檢測中。
康耐德視覺檢測系統可以高效識別晶圓表面缺陷并分類、標記,輔助晶片分揀。能夠通過視覺對位系統、視覺定位、視覺檢測等技術,提供了高精度的視覺檢測解決方案。
康耐德晶圓表面缺陷檢測系統主要檢測晶圓外觀的損傷、毛刺等缺陷,具體應用有:
表面破損
檢測晶圓表面破損進行識別,計算破損面積及定位
2.晶圓序列碼讀取
檢測晶元邊緣的序列碼,抓取序列碼的清晰輪廓并且能夠識別
康耐德智能針對晶圓表面缺陷的視覺檢測研究也在不斷深入,使用灰度模板匹配算法提取晶圓上的晶粒圖像,以及基于深度學習模型對晶圓上復雜的劃痕、污染缺陷進行目標檢測。
通過深度學習算法不斷優化識別效果,結合工業相機、機械手臂、自動化產線等設備,為客戶提供多相機成像解決方案,可以應用于半導體封測設備、半導體晶圓貼片機和鍵合設備中。這些技術的應用,不僅提高了晶圓檢測的精度,也推動了半導體制造技術的發展。
視覺系統在晶圓制造中是不可或缺的核心技術,貫穿整個工藝流程,對保證良率、提高效率和實現自動化至關重要。
在半導體制造流程中,硅錠需要被精確切割成薄片(即晶圓),以便后續加工。切割的精度直接影響到晶圓的質量和后續生產的良品率。視覺定位系統在這一過程中發揮著至關重要的作用。
CCD視覺檢測設備在醫療影像分析中的應用主要體現
CCD視覺檢測設備在新能源電池制造中扮演著至關重要的角色,是實現高精度、高效率、高一致性和高安全性的核心裝備之一。隨著新能源汽車和儲能市場的爆發式增長,對電池質量和生產自動化的要求不斷提高,CCD視覺檢測的應用變得不可或缺。
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